发明专利已授权

一种镀膜机

📄 申请号：CN201810530860.4 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2018-05-29

公开号

CN108504999B

公开日

2020-07-17

申请人

马鞍山松鹤信息科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32

技术画像

所属领域

真空镀膜真空镀膜薄膜沉积镀膜设备

应用场景

光学镀膜, 半导体制造, 装饰镀膜, 工具涂层, 建筑玻璃镀膜

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摘要

本发明涉及一种镀膜机,包括基座，基座底部设有可固定滑轮，基座上设有壳体，壳体内部设有保温层，保温层内部形成的内腔底部设有升降台，升降台上设有转轴，转轴上设有工作台，工作台上设有夹具，内腔上设有多个等距加热器，加热器连接弧电源，弧电源连接电弧蒸发源，电弧蒸发源连接多弧耙，多弧耙连接电磁感应线圈，电磁感应线圈连接引弧针，引弧针连接振动感应器，振动感应器连接控制器，控制器上设有报警器，控制器连接反应气体管道，反应气体管道上设有截止阀，反应气体管道下侧设有惰性气体管道，惰性气体管道上设有单向阀。本发明结构简单，占地面积小，提高镀膜工作效率，自动化生产，提高精确度，加热速度快、均匀性强，延长使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200717

✅ 授权

20200710

⏳ 专利申请权的转移：

20181009

?? 实质审查的生效：

20180907

📄 公开

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¥12000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：64 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 天津勤熠信息科技有限公司

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