发明专利 已授权

一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN202210199226.3 📄 发布日:2026/09/09

著录项目信息

申请日
2022-03-02
公开号
CN114703452B
公开日
2023-03-21
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

切削刀具, 模具防护, 表面防护涂层, 耐磨涂层, 精密零部件

摘要

本发明公开了一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法,是采用具有较高堆垛层错形成能力的CoCrFeNi高熵合金作为掺杂组元,以氩气作为溅射气体,通过物理气相沉积装置制备的具有CoCrFeNi纳米孪晶结构掺杂的非晶碳薄膜材料。该薄膜的显著特征在于,在非晶碳中掺入了高熵相。不同于单组元或多组元掺杂,该薄膜可利用高熵相形变诱导塑性的特征,解决非晶碳薄膜高残余应力的问题,并通过高熵相孪晶结构的形成,使该薄膜具有高硬度、高强韧性、低摩擦系数、高膜基结合力的优点。鉴于以上描述,本发明可为高性能自润滑材料设计提供基础理论与方法,并拓展非晶碳薄膜在机械工程及其他领域的应用。

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图2
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