发明专利已授权

纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法及装置

📄 申请号：CN202310170466.5 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2023-02-27

公开号

CN116197744B

公开日

2026-02-10

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B3_34

IPC 分类号

B24B3_34 , B24B41_00 , B24B41_06 , C09G1_02 ,

技术画像

所属领域

化学机械抛光化学机械抛光金刚石刀具精密加工技术

应用场景

超精密加工, 光学元件制造, 模具制造, 精密机械加工, 刀具制造

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摘要

本发明提供一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，步骤为：制备A型和B型抛光液；利用浸水状态下的玻璃盘作为粗抛抛光盘，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定粗抛工艺参数，并利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛，得到切削刃钝圆半径为100mm‑200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀；选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定精抛工艺参数，并利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到钝圆半径小于50nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。本发明具有更高的材料去除率，得到具有锋利刃口的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种抗冲击复合滚柱活齿减速器

当前第 / 件

一种重型卡车桥壳制造方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：67 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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