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本发明公开了一种防静电抛光层、抛光垫及其制备方法和应用，所述防静电抛光层包括如下按质量百分比计的原料：聚氨酯预聚物1％～30％；磨粒40％～96％；抗静电的导电物质1％～10％；交联剂1％～10％；多孔氧化锆1％～10％。所述抛光垫包括：基体层，所述基体层包括弹性衬底层和制备在弹性衬底层上的刚性层；上述防静电抛光层，所述抛光层制备在所述刚性层上；所述抛光层和刚性层以及弹性衬底层和刚性层均通过粘结剂粘结。本发明提供了一种防静电抛光层，所述防静电抛光层中含有抗静电的导电物质，使用该抛光层制备得到的抛光垫可防止CMP工作系统的故障，同时保证晶圆的表面加工质量，具有良好的应用前景。