一种基于剪切膨胀效应的化学增强高效超精密抛光方法，结合剪切膨胀效应与化学效应协同作用的抛光新方法。抛光过程中，当法向加压时，受剪切力作用的磨具与工件接触区域会产生剪切膨胀效应，增大磨粒与工件的接触面积，从而提高工件表面的受力均匀性。利用具有抛光作用的磨粒与具有化学作用的化学粉末协同作用，实现工件材料的有效去除并达到抛光的效果。本发明适用加工材料范围广、加工效率高、加工表面质量好。
📄 2020108937766
📂 B24B37_04
👤 浙江工业大学
📅 2020-08-31
本实用新型公开了一种用于光学镜片的平面研磨装置，其包括第一输送机构、转料机构、上料机构及研磨机构，所述第一输送机构用于输送预研磨的镜片；所述转料机构包括转轮及第一转动驱动件，所述转轮上开设有多个放置槽，所述第一转动驱动件与所述转轮的一端固接，用于驱动所述转轮转动，以调节各个所述放置槽槽口的朝向；所述上料机构设置于所述第一输送机构的末端，用以接收所述第一输送机构上的单个镜片，并将单个镜片送入所述放置槽内。本实用新型的有益效果是：采用本研磨装置对光学镜片的平面进行研磨时，可实现自上料和下料，适用于对光学镜片的平面进行批量研磨，可降低在上下料上的耗时。
📄 2024212154673
📂 B24B37_04
👤 老河口市瑞宇光学科技有限公司
📅 2024-05-30
已申报项目
本发明提供一种光化学机械研磨方法及光敏活性研磨液，研磨的步骤为：搭建具备紫外光全波段覆盖而强度能调整且避光的光化学机械研磨平台；启动光化学机械研磨平台对金刚石固结磨料研磨盘进行对磨；调整紫外光LED灯得到合适波长和强度的紫外光，利用紫外光辐照能量诱导光敏研磨液中光引发剂复配物裂解产生苯甲酰和烷基自由基，引发工件表面材料形成硬度低、弹性模量小和断裂韧性高的改性层，对磨改性层得到研磨后的工件。配置光敏活性研磨液，其包括光引发剂复配物、丙二醇、甘油和去离子水。本发明利用光敏研磨液对机械力作用下的工件进行紫外光可控化学改性，减小甚至消除机械应力去除造成的加工损伤，从而实现难加工材料高质量高效率超精密加工。
📄 202310037046X
📂 B24B37_04
👤 燕山大学
📅 2023-01-10
本发明涉及一种硬脆半导体晶圆的化学机械磨削系统及方法，所述化学机械磨削方法：采用有机热分解型氧化剂和有机光分解氧化剂及聚乙二醇、丙三醇和植物油，配置油基热活性‑光活性复合磨削液；搭建具有紫外光辐照功能且辐照强度和紫外光波长可调可控的紫外光‑金刚石磨料砂轮化学机械磨削平台；启动化学机械磨削平台及微量润滑供液装置，控制待加工晶圆与金刚石磨料砂轮相互旋转对磨；开启紫外光发生器对晶圆表面热活性‑光活性复合磨削液滴进行精准辐照，利用磨削热能和紫外光辐照能诱导热分解型和光分解型氧化剂产生活性自由基，引发晶圆表层材料发生自由基氧化反应，形成低界面结合力的氧化层；金刚石磨料小载荷微切削去除晶圆表面氧化层，高效率获得亚表面近无机械损伤的半导体晶圆。
📄 2025101558723
📂 B24B37_04
👤 燕山大学
📅 2025-02-12
本发明公开一种全自动智能化半导体衬底片加工设备，包括底座，所述底座上设置有旋转驱动组件，所述旋转驱动组件的输出端设置有旋转环体，所述旋转环体表面围绕所述旋转环体圆心圆周均布有多个碳化硅衬底片安装座，其中一个所述碳化硅衬底片安装座上方设置有和所述底座固定连接的碳化硅衬底块储存桶，所述碳化硅衬底块储存桶一侧设置有能对所述碳化硅衬底块储存桶内的碳化硅衬底块进行底部等厚度切削的往复移动切削组件，降低了碳化硅衬底块切削成碳化硅衬底片后研磨之间的工序加工时间，并且自动送入至研磨装置内进行表面研磨处理，节省了加工时间，整体机械结构设置连贯，提高了工作效率。
📄 2021113354610
📂 B24B37_04
👤 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
📅 2021-11-11
已申报项目
本实用新型公开了一种全自动晶圆减薄机，包括箱体，所述箱体的正面活动安装有箱门，所述箱体内腔的顶部固定安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端传动连接有研磨片，所述箱体内腔的顶部固定安装有两个电动伸缩杆；本实用新型通过设置多个开关式雾化喷头，并且环管和开关式雾化喷头可以通过电动伸缩杆调节高度，并开启和闭合不同开关式雾化喷头，从而调节出水方向便于对晶圆减薄作业周边进行均匀雾化喷洒，有助于辅助进行减薄作业，并且水流通过滤网框过滤后进行循环使用，而且方便作业人员取出滤网框，并将过滤后的杂质带出，便于作业和回收。
📄 2024227925946
📂 B24B37_04
👤 日月新半导体(威海)有限公司
📅 2024-11-15
本发明装置公开了一种全同步光纤研磨固定夹具，该装置主要包括转动环、三环夹板、调节旋轴、研磨光纤，转动环内部均布环形安装有若干数量的三环夹板，每个三环夹板中心都设置有调节旋轴，调节旋轴外围侧可与研磨光纤外端配合；三环夹板主要包括固定夹槽、主动卡槽、夹槽头板，有益之处：通过均匀环形布置的若干数量三环夹板，对应三环夹板外围设置有卡槽与研磨光纤固定配合，一体化设置的转动环在主动销作用下可产生转动，带动所有三环夹板以单位同步性、一致性与研磨光纤固定配合，大大节省了固定装夹的劳动力，提高光纤研磨效率，且通过设计的夹槽头板向外翘起，使得所有的研磨光纤具有相同的下压研磨力，保证光纤研磨的同步性与高精度。
📄 2020105116419
📂 B24B37_04
👤 深圳市易通光讯设备技术有限公司
📅 2020-06-08
本实用新型装置公开了一种全同步光纤研磨固定夹具，该装置主要包括转动环、三环夹板、调节旋轴、研磨光纤，转动环内部均布环形安装有若干数量的三环夹板，每个三环夹板中心都设置有调节旋轴，调节旋轴外围侧可与研磨光纤外端配合；三环夹板主要包括固定夹槽、主动卡槽、夹槽头板，有益之处：通过均匀环形布置的若干数量三环夹板，对应三环夹板外围设置有卡槽与研磨光纤固定配合，一体化设置的转动环在主动销作用下可产生转动，带动所有三环夹板以单位同步性、一致性与研磨光纤固定配合，大大节省了固定装夹的劳动力，提高光纤研磨效率，且通过设计的夹槽头板向外翘起，使得所有的研磨光纤具有相同的下压研磨力，保证光纤研磨的同步性与高精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
📄 2020210313304
📂 B24B37_04
👤 深圳市易通光讯设备技术有限公司
📅 2020-06-08
本实用新型公开一种平面研磨机，包括有棍式输送台、若干组磨头、若干组电机以及若干组气缸，棍式输送台上安装一平台，所有电机均固定在平台的上侧，平台的下侧固定有与电机对应的第一轴承，第一轴承的内圈和电机的转子穿装一上下滑动且周向固定联接的中空的传动轴，磨头固定在传动轴的下端，传动轴上端安装与平台机架上下滑动配合的轴承座，轴承座内安装第二轴承，第二轴承的内圈与传动轴固定连接，轴承座的上盖安装相互连通的进液管和下液管，且下液管延伸进传动轴的中空孔内，气缸固定在平台机架上且气缸的活塞杆与轴承座固定连接。本实用新型可有效减少了平面研磨机的维修，使得平面研磨机的生产效率得到有效提升，切实减低生产成本。
📄 2022227010172
📂 B24B37_04
👤 佛山市金琪瑞机械设备有限公司
📅 2022-10-13
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