发明专利已授权

芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法

📄 申请号：CN201910463390.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-05-30

公开号

CN110370100A

公开日

2019-10-25

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_04

IPC 分类号

B24B1_04 , B24B49_12 , B24B41_04 , B24B57_02 ,

技术画像

所属领域

微细加工微细加工超声加工模具制造

应用场景

精密制造, 微阵列模具加工, 超声辅助加工, 微结构制造

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摘要

本发明公开了芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，包括变幅杆、微型超声发生器和工具头，变幅杆上端连接微型超声发生器，变幅杆下端连接可更换的工具头；在工具头底部设有多层镀层或镀一层涂层，若涂层材料是金刚石，先采用金刚石砂轮对工具底部涂层进行磨削，将涂层表面磨成平面，再采用化学机械抛光的方法对涂层表面抛光，之后在工具头底部涂层厚度范围内加工微半球凹模阵列，凹模深度小于涂层厚度，半球凹模直径大于等于用于超声发射的球体直径。本发明大幅提升半球凹模阵列的加工效率，保证凹模圆周半径的一致性和不同凹模之间几何形状的一致性，对加工完成的凹模可采用柔性体化学试剂抛光，实现纳米级表面粗糙度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种合成α,β-双溴化合物的方法

当前第 / 件

一种半主动控制的潜艇推进轴系准零刚度隔振装置及方法

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