发明专利已授权

一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法

📄 申请号：CN202510337365.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2025-03-21

公开号

CN119839764A

公开日

2025-04-18

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_00

IPC 分类号

B24B37_00 , B24B37_27 , B24B37_34 , B24B1_00 , G01N1_28 ,

技术画像

所属领域

化学机械抛光化学机械抛光光催化辅助加工精密与超精密加工

应用场景

半导体制造, 晶圆平坦化, 集成电路制造, 碳化硅衬底加工, 光学元件精密加工

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摘要

本发明公开了一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法；该装置包括机床、模块化机械抛光模块、可调式紫外光灯照射模块和抛光安装模块。模块化机械抛光模块装夹在机床的主轴上。模块化机械抛光模块包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片。本发明在叶片状的抛光结构上方布置紫外灯，使得紫外灯射出的紫外光能够通过抛光叶片之间的缝隙照射到抛光液和试样上，从而引发光催化辅助的化学腐蚀，实现了光催化化学腐蚀与机械抛光的同时执行，避免了现有技术中先将试样置于光催化装置中处理，再置于机械抛光机床中加工的复杂操作并提高了抛光效率。同时，本发明通过相邻的模块化叶片内端相互嵌合减小安装模块化叶片的槽盘直径。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：26 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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