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项目申报：全部报过没有报过

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本公开涉及一种研磨垫再生方法以及一种研磨设备。该方法包括将研磨垫生成材料的流体供应至研磨台的供应步骤；以及使研磨垫生成材料固化以形成研磨垫的固化步骤，其中，供应步骤和固化步骤被选择性地执行以补偿研磨垫在工作中的磨损。该设备包括：研磨台；研磨头，其承载有待研磨的制品；以及研磨垫，设置于研磨台的表面，其中研磨垫被构造成能够通过将研磨垫生成材料的流体供应至研磨台以及使研磨垫生成材料固化来再生，从而补偿研磨垫在工作中的磨损。

📄 2017109963554 📂 B24B37_26 👤 淮安西德工业设计有限公司 📅 2017-10-24

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研磨垫及研磨设备和方法（半导体晶片、金属研磨加工材料）

2017109963554 · 淮安西德工业设计有限公司

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