发明专利已授权

一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统

Name: 一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2024117323140
Availability: InStock

📄 申请号：CN202411732314.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2024-11-29

公开号

CN119748311B

公开日

2025-10-10

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_013

IPC 分类号

B24B37_013 , B24B37_10 , B24B37_30 , B24B49_00 , G06N3_042 , G06N3_08 ,

技术画像

所属领域

抛光工艺抛光工艺终点检测技术自动控制系统

应用场景

半导体制造, 光学元件加工, 精密加工, 陶瓷加工

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明属于机械加工领域，公开了一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统，包括：步骤1，构建化学机械抛光的数学模型；步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集；步骤3，进行边缘计算平台的电路设计；步骤4，进行参数控制实验；步骤5，进行上位机系统的开发；步骤6，最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集；步骤7，对加工状态预测模型进行训练；步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测。本发明利用抛光扭矩对抛光状态进行在线实时检测，并进行状态反馈的方法，可提升抛光加工效率，提高抛光质量及抛光成品率，降低成本。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN119748311B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种酸性土壤农药和砷污染同步修复的方法

当前第 / 件

一种基于超表面材料的近远场双通道图像显示方法

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_013)

B24B37_00 B24B37_005 B24B37_013 B24B37_02 B24B37_025 B24B37_04 B24B37_08 B24B37_10 B24B37_11 B24B37_12 B24B37_14 B24B37_22 B24B37_24 B24B37_26 B24B37_27 B24B37_28 B24B37_30 B24B37_34 覆盖18个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：62 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_013)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统

一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法

芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法

服务项目

资源中心

关于柿子坊