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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明属于机械加工领域，公开了一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统，包括：步骤1，构建化学机械抛光的数学模型；步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集；步骤3，进行边缘计算平台的电路设计；步骤4，进行参数控制实验；步骤5，进行上位机系统的开发；步骤6，最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集；步骤7，对加工状态预测模型进行训练；步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测。本发明利用抛光扭矩对抛光状态进行在线实时检测，并进行状态反馈的方法，可提升抛光加工效率，提高抛光质量及抛光成品率，降低成本。

📄 2024117323140 📂 B24B37_013 👤 浙江工业大学 📅 2024-11-29

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一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统

2024117323140 · 浙江工业大学

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固态锂电池电解质专利包

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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
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SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
受让方：××汽车电子集团
交易类型：转让
交易金额：¥680万

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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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交易金额：¥50万/年

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