发明专利已授权

一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置

📄 申请号：CN202510968678.7 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-07-15

公开号

CN120470947B

公开日

2025-09-09

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_27

IPC 分类号

G06F30_27 , G16C60_00 , B24B7_22 , B24B1_00 , G06F119_18 ,

技术画像

所属领域

半导体材料加工半导体材料加工研磨加工工艺工艺参数预测

应用场景

碳化硅衬底制造, 晶圆研磨加工, 半导体器件制备, 功率半导体制造, 智能制造

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摘要

本申请提供的一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置，方法包括：对所获取的历史工艺试验数据进行拟合，构建经验材料去除率预测模型；响应于修正请求，采集研磨过程动态数据；利用训练好的XGBoost动态修正模型，基于研磨过程动态数据对应的待测特征参数进行预测，得到动态修正量；基于动态修正量，更新经验材料去除率预测模型中的经验系数，得到修正后的所述经验材料去除率预测模型；通过修正后的经验材料去除率预测模型，计算研磨过程动态数据对应的去除率预测值。本发明通过XGBoost模型预测动态修正量更新经验系数，实现去除率预测值预测，提升研磨工艺的预测精度和过程控制水平。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电静液系统的象限切换平滑控制方法、装置及设备

当前第 / 件

一种疏水强韧海泥混凝土材料及其制备方法和应用

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_27)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

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