摘要
本实用新型涉及一种引线键合检测机,包括有机架以及安装于机架上的传感器机构和夹具机构,引线键合放置在夹具机构上,传感器机构对引线键合进行扫描,传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪,横向驱动组件安装于支架上,横向驱动组件驱动纵向驱动组件横向移动,纵向驱动组件驱动测量仪移动,横向驱动组件和纵向驱动组件结构相同,测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。上述引线键合检测机,能够通过白光干涉同轴3D位移测量仪,扫描形成的图像通过测量软件对引线键合进行检测,从而可以高速测量线径细至25微米的引线键合加工后的引线高度和位置度,以实现高精度测量,提高检测效率。