实用新型 已授权

一种引线键合检测机

📄 申请号:CN202321354820.1 📄 发布日:2026/04/27

著录项目信息

申请日
2023-05-30
公开号
CN220019397U
公开日
2023-11-14
申请人
东莞市亮宇自动化科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体封装, 芯片制造, 电子制造

摘要

本实用新型涉及一种引线键合检测机,包括有机架以及安装于机架上的传感器机构和夹具机构,引线键合放置在夹具机构上,传感器机构对引线键合进行扫描,传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪,横向驱动组件安装于支架上,横向驱动组件驱动纵向驱动组件横向移动,纵向驱动组件驱动测量仪移动,横向驱动组件和纵向驱动组件结构相同,测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。上述引线键合检测机,能够通过白光干涉同轴3D位移测量仪,扫描形成的图像通过测量软件对引线键合进行检测,从而可以高速测量线径细至25微米的引线键合加工后的引线高度和位置度,以实现高精度测量,提高检测效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:104 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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