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发明专利
已授权
一种超声引线键合超声波频率自调整方法
📄 申请号：CN201711283339.7
📄 发布日：2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-12-06
公开号
CN108052137B
公开日
2020-04-03
申请人
浙江海洋大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G05D19_02
IPC 分类号
G05D19_02
技术画像
所属领域
超声波引线键合
超声波引线键合
频率自动控制
半导体封装工艺
应用场景
半导体封装, 集成电路制造, 电子器件键合, 引线键合设备, 芯片互连
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摘要
一种超声引线键合超声波频率自调整方法，其特征在于，包括如下步骤，1)通过测量电路采集超声波发生器的电信号；2)对步骤1)所采集到的超声波发生器的电信号送入信号分析和处理模块利用快速傅立叶变换FFT进行处理，计算出键合工具的固有频率；3)信号分析和处理模块自动提取此固有频率，然后发送给控制系统，控制系统对超声波发生器加载频率自动检测，同时接受来自信号分析处理模块的固有频率，将超声波发生器频率和此固有频率进行比较，并调节和控制超声波发生器(1)的频率，使其与固有频率相等；本发明的有益效果：本发明实现键合过程中超声频率的自动调整，通过系统设计可有效提高键合成功率，适合推广使用。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20200403
✅ 授权
20180612
?? 实质审查的生效 ：
20180518
📄 公开
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📋 交易方式：
委托待转让
📌 交易状态：
在售
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📋 项目申报：
未申报
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