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一种基于MEMS的电容式红外气体传感器及其制备方法，该传感器以阵列的形式布置，通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH4、SO2的浓度，并采用电容作为感应元件。此外，太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义，大气臭氧层的损耗，照射到地面的太阳光紫外线增强，使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本发明设计的传感器还带有一个简便系统，可以用于太阳辐射量检测。本发明的电容式红外气体传感器制作与CMOS工艺兼容，易于板上集成，传感器采用电容作为感应元件，温度漂移低、精度高。

本实用新型属于气体传感器技术领域，具体涉及一种高精度NDIR传感器，包括红外接收端、光路和复合光源，红外接收端设有第一加热机构，复合光源设有第二加热机构；光路外侧设有加热带；第一加热机构包括基板、护盖、铜柱和两个加热片，铜柱设于基板中部，铜柱中部设有装配槽，且红外接收端设于装配槽内，两个加热片设于铜柱外侧面，护盖一端开有与铜柱相匹配的嵌合槽，护盖设有与红外接收端相匹配的滤波片；第二加热机构包括装载块，复合光源嵌设于装载块内，装载块设有与复合光源相匹配的玻板，装载块设有与复合光源相匹配的螺旋加热管，本装置能够在对烟气进行检测时，对检测部件进行升温处理，提高检测精度的同时能够提高部件的使用寿命。