发明专利已授权

一种高耐磨CoFeTaB/MgCuY非晶/非晶多层膜及其制备方法

📄 申请号：CN202211027767.4 📄 发布日：2026/08/17

著录项目信息

申请日

2022-08-25

申请人

长安大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_16

IPC 分类号

C23C14_16 , C23C14_35 , C23C14_54 , C22C45_00 , C22C45_04 , C22C1_11 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

表面防护, 耐磨涂层, 精密零部件, 工模具, 磁性器件

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摘要

本发明公开了一种高耐磨性硬质CoFeTaB/MgCuY多层膜的制备方法，其采用双靶磁控溅射交替沉积CoFeTaB非晶合金和MgCuY非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中引入较软的轻合金Mg基非晶薄层(～3nm)。本发明克服了非晶合金薄膜硬度高但耐磨性差的缺陷，通过引入高密度非晶‑非晶界面来抑制非晶合金的室温剪切局域化和应变软化效应，从而在保证长程无序结构特征的基础上，实现CoFe基非晶合金薄膜耐磨性能的显著提升。多层膜在无润滑条件下摩擦系数为0.41‑0.50，耐摩擦性能明显优于组元MgCuY非晶合金和CoFeTaB非晶合金。该方法成本低廉、制备工艺简单、参数易控、适合大规模工业化生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230714

✅ 授权

20221122

?? 实质审查的生效：

20221104

📄 公开

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：9 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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