实用新型已授权

一种夹持多个基板的溅射夹具

Name: 一种夹持多个基板的溅射夹具
Brand: 无锡元核芯微电子有限责任公司
SKU: 2020204648438
Availability: InStock

📄 申请号：CN202020464843.8 📄 发布日：2026/04/13

著录项目信息

申请日

2020-04-02

公开号

CN211848125U

公开日

2020-11-03

申请人

无锡元核芯微电子有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_50

IPC 分类号

C23C14_50 , C23C14_34 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备溅射镀膜基板夹持机构

应用场景

半导体制造, 平板显示制造, 光伏电池制造, 光学镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种夹持多个基板的溅射夹具，包括溅射炉、基板主体、腔体和夹头，所述溅射炉内部的顶端均匀固定有靶材原子轰击装置，所述溅射炉的下方设置有腔体，且腔体的内部均匀固定有凹槽，所述凹槽的内部均设置有转杆，且凹槽的一端固定有第二电机，所述支座内部的一端均设置有夹头，且夹头之间夹持有基板主体。本实用新型通过安装有溅射炉、靶材原子轰击装置、腔体、凹槽、夹头以及基板主体，溅射炉内部的顶端均匀固定有靶材原子轰击装置，靶材原子轰击装置的底部均设置有溅射口，溅射口下方的腔体中均匀通过夹头夹持有基板主体，基板主体与溅射口相垂直，便于直接接受到溅射出的金属离子，使得成膜速度较快，镀膜更加均匀。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN211848125U

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有绝缘性的溅射炉夹具

当前第 / 件

一种厚膜电路的烘干装置

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