实用新型已授权

一种具有绝缘性的溅射炉夹具

📄 申请号：CN202020464880.9 📄 发布日：2026/04/13

著录项目信息

申请日

2020-04-02

公开号

CN212247195U

公开日

2020-12-29

申请人

无锡元核芯微电子有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_50

IPC 分类号

C23C14_50 , C23C14_34 ,

技术画像

所属领域

夹具溅射设备真空镀膜半导体制造设备夹具

应用场景

半导体制造, 薄膜沉积, 真空镀膜, 溅射镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种具有绝缘性的溅射炉夹具，包括基板、安装座和连接件，所述基板顶端的两侧均安装有安装座，且安装座的顶端均设置有安装槽，所述安装槽的内侧均安装有固定杆，所述第三连接轴上方连接件的两端之间均安装有第四连接轴，且第四连接轴的外壁均安装有移动件，所述移动件的一端均安装有第一连接轴，且第一连接轴的外壁均安装有夹持件，所述手柄的一端均通过第二连接轴固定连接于移动件的一端。本实用新型通过在夹持件的顶端皆均匀设置有凸起，且凸起一侧夹持件的顶端均设置有凹槽，通过在夹持件上表面增加凸起结构，能够阻挡镀膜脱落，从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度，有利于降低生产成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铁氧体材料平面磨削装置

当前第 / 件

一种夹持多个基板的溅射夹具

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_50)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

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