发明专利 已授权

一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法

📄 申请号:CN201710405569.X 📄 发布日:2026/09/23

著录项目信息

申请日
2017-06-01
公开号
CN107130217B
公开日
2019-02-19
申请人
安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

平板显示制造(如LCD、OLED);触摸屏生产;太阳能电池透明电极;节能镀膜玻璃;光电半导体器件

摘要

本发明公开一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法,包括以下步骤:取分散剂和粘接剂加入水中,搅拌均匀,用氨水调pH值至8~11,得预混液;所述分散剂重量比为1~2:1的柠檬酸和聚丙烯酸胺的混合物;向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结剂,再于球磨机中进行球磨,球磨后得到混合浆料,搅拌,抽真空除去浆料中的气泡;所述烧结剂由稀土氧化物、氮化钛和纳米GeO2组成;把铝制模装在石膏板上,将所得浆料注入铝制模中;吸浆成型后脱模干燥,得ITO坯体;干燥后的ITO坯体在常压纯氧气的气氛下烧结,得ITO靶材。与现有技术相比,本方法获得的产品致密度高、成本低、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN107130217B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20190219
✅ 授权
20170929
?? 实质审查的生效 :
20170905
📄 公开
¥6500.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:12 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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