实用新型已授权

一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪hlj

📄 申请号：CN202122670221.8 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2021-11-03

公开号

CN216404528U

公开日

2022-04-29

申请人

沈阳正恒科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_52

IPC 分类号

C23C14_52 , F16F15_02 , B08B1_04 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备薄膜沉积技术表面处理

应用场景

光学镀膜, 表面处理, 半导体制造, 装饰涂层, 工具涂层

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摘要

本实用新型公开了一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪，包括真空镀膜仪主体，所述真空镀膜仪主体两侧分别倾斜设有样品观察窗和源材料观察窗，所述真空镀膜仪主体内部两侧均设有沿竖直方向轴向位移的圆筒辊，所述圆筒辊外表面圆周固定设有清理布，所述清理布外表面与样品观察窗和源材料观察窗处于真空镀膜仪主体内部的窗口接触，该种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪，通过设置横板、第一电动伸缩杆、竖板、连接块、转轴、圆筒辊和清理布，可以完成对观察窗口的自动清理，保证人们能清楚观察到真空镀膜仪主体内部情况，且避免了停机人工清理的麻烦，保证了正常的工作效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220429

✅ 授权

一种防样成分分布破坏的实验设备hlj

当前第 / 件

一种基于上下液位传感的循环补液恒温槽hlj

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_52)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：12 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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