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专利详情
实用新型
已授权
一种蒸发面积可调的蒸发舟
📄 申请号:CN202221089018.X
📄 发布日:2026/04/27
著录项目信息
申请日
2022-05-09
公开号
CN218059165U
公开日
2022-12-16
申请人
洛阳德浩金属科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
C23C14_24
IPC 分类号
C23C14_24
技术画像
所属领域
真空镀膜设备
真空镀膜设备
蒸发源
加热蒸发器
应用场景
真空镀膜, 薄膜制备, 电子元器件制造, 表面处理, 金属化薄膜
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摘要
本实用新型公开了一种蒸发面积可调的蒸发舟,包括舟体,该舟体后侧两端剪开并向前弯折形成后围板,且所述舟体前侧两端剪开向后弯折到所述后围板内侧形成前围板,所述前围板配合所述后围板和所述舟体形成蒸发腔;所述后围板内侧设置有沿其长度方向延伸的T形滑槽。有益效果在于:本实用新型通过设置交错重合位置可调的后围板以及前围板,通过调整前围板伸入后围板内侧长度以改变内部蒸发腔面积,进而便于根据蒸发腔内放置物料量对应调节蒸发腔面积尺寸,使用更加便捷,同时后围板与前围板交错位置贴合更加紧密,避免两组围板弯折后因金属张力而逐渐造成蒸发腔面积改变,结构更加稳定,实用性强。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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