实用新型 已授权

一种钼镍合金溅射靶材用混合装置

📄 申请号:CN202221020396.2 📄 发布日:2026/08/31

著录项目信息

申请日
2022-04-29
公开号
CN217068623U
公开日
2022-07-29
申请人
洛阳德浩金属科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体制造, 显示面板制造, 磁控溅射镀膜, 太阳能电池, 光学镀膜

摘要

本实用新型公开了一种钼镍合金溅射靶材用混合装置,包括机架和混合罐,所述机架为开口朝上的U形框体,所述混合罐设置于所述机架内侧,所述机架外一侧设置有承托架,所述机架靠近所述承托架一侧转动设置有横向固定于所述混合罐外侧的轴套,且所述机架另一侧转动设置有配合轴套支撑混合罐转动的转轴。有益效果在于:本实用新型通过在机架内部设置混合罐,并通过轴套支撑混合罐在两组齿轮驱动下转动,利用电动机输出端驱动齿轮带动混合罐转动的同时通过传动皮带驱动搅拌架反向转动,以在混合罐与内部搅拌架反向旋转过程中实现物料混合动作,提高靶材物料混合均匀性,实用性强。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN217068623U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

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¥1500.0 元
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:34 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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