发明专利已授权

一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3-BZO复合涂层的制备方法

📄 申请号：CN202510183071.8 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2025-02-19

公开号

CN119663213B

公开日

2025-05-16

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_08 , C23C14_58 ,

技术画像

所属领域

复合涂层表面涂层技术陶瓷基复合材料热喷涂工艺复合涂层

应用场景

半导体刻蚀设备, 等离子体处理设备, 精密零部件防护, 薄膜沉积设备

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摘要

本发明提供一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3‑BZO复合涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、取衬底进行清洗，吹干，UV光清洗机二次清洁；S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内，边抽真空边加热，达到本底真空后通入氩气，对Y2O3和BZO靶材进行预溅射；S3、预溅射完成后打开挡板，调节腔体气压，正式溅射开始，正式溅射采用交替溅射形式分别对Y2O3和BZO靶材进行溅射形成堆叠复合涂层，溅射完毕后取出衬底；S4、将步骤S3中的衬底进行真空退火，自然降温，即得Y2O3‑BZO堆叠复合涂层。改复合涂层采取交替溅射形式形成堆叠复合涂层，具备良好的耐刻蚀性能，能大幅提高刻蚀机的使用寿命，减少对晶圆造成的污染。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有致密性和耐刻蚀性Y2O3薄膜的制备方法及其应用

当前第 / 件

一种湿法重结晶控制晶型制备HgS晶体的方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

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议价

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