发明专利已授权

一种超硬膜层制造方法

📄 申请号：CN202210891402.X 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2022-07-27

公开号

CN115110033B

公开日

2024-01-23

申请人

南京真合材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_16 , C23C14_32 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

超硬涂层超硬涂层薄膜沉积技术表面工程

应用场景

切削刀具加工, 模具制造, 耐磨防护, 精密机械

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摘要

本发明公开了一种超硬膜层制造方法。本发明采用Cr靶、Ti靶、W靶作为靶材制备膜层，按不同的膜层硬度进行交替成膜。使用多弧沉积膜层和磁控溅射沉积交替制备超硬膜，形成软硬膜层交替生长，有利于形成高密度位错，有效阻止晶面滑移，有利于膜层组成元素扩散，改善了内应力集中现象，提高了超硬膜的总体强度，硬度。通过改良膜层组织结构达到提高显微硬度的效果，避免单纯依靠膜厚提高性能，节省生产时间与资源，有较好的经济与社会效益。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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¥18000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：12 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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