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| 专利/申请号： | CN202210994517.1 | 专利名称： | 一种用于FPGA芯片基板镀膜的预处理设备 |
| 申请日： | 2022-08-18 | 申请/专利权人 | 盐城师范学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省盐城市盐城经济技术开发区希望大道南路2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C16/02分类检索 半导体专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2023-09-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115323348B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种用于FPGA芯片基板镀膜的预处理设备，包括工作框、清洗机构；清洗机构包括连接板；连接板安装在工作框两侧外壁的上方，连接板的上方通过连接梁上水平移动的摆动机构，摆动机构包括连接板；连接轴转动安装在安装板上，连接轴上套设有连接板，连接板与第二气缸的输出端连接，连接轴的一端延伸出安装板，并设置有与基板载体相适配的固定架；固定架包括安装竖梁、安装横梁，安装竖梁水平设置有两个，并安装在连接轴上，安装竖梁上竖直设置有两个，并设置在安装竖梁，本发明的清洗机构，通过设置的摆动机构，可以使得FPGA芯片基板在脱脂剂溶液和去离子水中不断摆动清洗，从而提高对FPGA芯片基板的清洗效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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