发明专利已授权

透明石英玻璃板及其制作方法，化学气相沉积工艺

📄 申请号：CN201811066812.0 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2018-09-13

公开号

CN108866513A

公开日

2018-11-23

申请人

德淮半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_48

IPC 分类号

C23C16_48 , C03C15_00 ,

技术画像

所属领域

石英玻璃石英玻璃化学气相沉积无机非金属材料

应用场景

半导体制造, 精密光学, 光纤通信, 光伏发电, 高温工业设备

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摘要

本发明技术方案公开了一种透明石英玻璃板及其制作方法，化学气相沉积工艺，所述化学气相沉积工艺包括：在化学气相沉积工艺的反应室内放置晶圆，所述反应室上方设有双紫外光源；在所述双紫外光源和晶圆之间设置透明石英玻璃板，所述透明石英玻璃板靠近所述双紫外光源的表面具有若干倾斜面；向所述反应室通入反应气体；采用所述双紫外光源照射所述晶圆，所述双紫外光源射出的紫外光透过所述透明石英玻璃板照射至所述晶圆的表面。本发明技术方案可以减少或消除光的干涉问题，进而改善晶圆表面的成膜均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种化学气相沉积工艺

当前第 / 件

半导体装置及其制造方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_48)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：149 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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