一种半导体器件制备方法

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摘     要：本发明属于半导体制备技术领域，尤其涉及一种半导体器件制备方法，包括以下步骤：步骤一：将处理装置与射频匹配器连通；步骤二：使多根能够通入不同成膜气体的管道与处理装置连接；步骤三：使用多根管道向处理装置内通入成膜气体；步骤四：使用处理装置对成膜气体进行均匀混合，并对成膜气体进行过筛；步骤五：从处理装置排出的成膜气体进入射频匹配器内，射频匹配器对成膜气体进行电离；步骤六：经过电离后的成膜气体沉积在晶圆上形成半导体，所述处理装置包括处理盒,处理盒内固接有连杆,连杆上转动连接有扇叶,处理盒内固接有滤板,处理盒上转动连接有转杆，能够在对气体进行混合过程中监测设备运行情况，及时发现设备故障。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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