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| 专利/申请号： | CN202310078981.0 | 专利名称： | 一种半导体器件制备方法 |
| 申请日： | 2023-02-08 | 申请/专利权人 | 赵君超 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 河北省石家庄市栾城区窦妪镇北赵村平安街1排2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C16/455 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-05-23 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN116145108A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 13 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明属于半导体制备技术领域，尤其涉及一种半导体器件制备方法，包括以下步骤：步骤一：将处理装置与射频匹配器连通；步骤二：使多根能够通入不同成膜气体的管道与处理装置连接；步骤三：使用多根管道向处理装置内通入成膜气体；步骤四：使用处理装置对成膜气体进行均匀混合，并对成膜气体进行过筛；步骤五：从处理装置排出的成膜气体进入射频匹配器内，射频匹配器对成膜气体进行电离；步骤六：经过电离后的成膜气体沉积在晶圆上形成半导体，所述处理装置包括处理盒,处理盒内固接有连杆,连杆上转动连接有扇叶,处理盒内固接有滤板,处理盒上转动连接有转杆，能够在对气体进行混合过程中监测设备运行情况，及时发现设备故障。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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