发明专利已授权

节能高效的PECVD反应炉管装置

Name: 节能高效的PECVD反应炉管装置
Brand: 福建奇豆网络科技有限公司
SKU: 2022104429129
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210442912.9 📄 发布日：2026/09/15

著录项目信息

申请日

2022-04-25

公开号

CN114807901A

公开日

2022-07-29

申请人

福建奇豆网络科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_44

IPC 分类号

C23C16_44 , C23C16_458 , C23C16_46 , C23C16_50 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路, 光伏电池, 平板显示, MEMS器件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114807901A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20251014

?? 专利权的转移：

20240126

✅ 授权

20220816

?? 实质审查的生效：

20220729

📄 公开

一种能量消耗成本最小化的电动汽车辅助移动边缘计算卸载方法

当前第 / 件

一种能有效抑制动作干扰的非接触式心电监测电路

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_44)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_513 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：40 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

节能高效的PECVD反应炉管装置

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_44)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

真空镀膜机的抽气机构

稳定便捷型真空镀膜机的蒸发舟

一种新型真空镀膜工艺室

服务项目

资源中心

关于柿子坊