发明专利已授权

节能高效的PECVD反应炉管装置

📄 申请号：CN202210442912.9 📄 发布日：2026/05/18

著录项目信息

申请日

2022-04-25

公开号

CN114807901A

公开日

2022-07-29

申请人

福建奇豆网络科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_44

IPC 分类号

C23C16_44 , C23C16_458 , C23C16_46 , C23C16_50 ,

技术画像

所属领域

PECVD设备 PECVD设备等离子体增强化学气相沉积半导体薄膜沉积设备

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路, 光伏电池, 平板显示, MEMS器件

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摘要

本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20251014

?? 专利权的转移：

20240126

✅ 授权

20220816

?? 实质审查的生效：

20220729

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：60 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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