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| 专利/申请号： | CN202210442912.9 | 专利名称： | 节能高效的PECVD反应炉管装置 |
| 申请日： | 2022-04-25 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C16/44 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-07-29 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN114807901A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 35 | 所属领域： | 半导体制造设备 薄膜沉积技术 等离子体增强化学气相沉积 新能源材料制备专利转让搜索 |
应用场景：集成电路制造中的介质层沉积;太阳能电池板的减反膜与钝化层制备;LED外延片的表面处理;先进封装中的介电层成型
摘 要：本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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