一种卧式热丝CVD设备

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摘     要：本发明涉及一种卧式热丝CVD设备，它包括：反应腔室、间隔设置在所述反应腔室内的载板、矩阵排列在所述载板上的硅片、固定在所述反应腔室内侧壁上的热丝架、固定在所述热丝架上的保护套、可调节地设置在所述保护套内的电极夹头、固定在所述电极夹头之间的热丝以及设置在所述反应腔室内的匀气管道，所述热丝与载板交替设置。本发明卧式热丝CVD设备结构简单，在反应腔室内设置水平的载板，硅片放置在载板的硅片槽内，方便硅片的上下料，通过热丝夹将热丝水平分段张紧在反应腔室内，可以避免热丝由于自重而出现下垂，然后通过热丝对工艺气体分子进行催化分解反应，将反应产生的活性基团镀在硅片的两侧，方便操作，通用性高。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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