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| 专利/申请号： | CN202211031276.7 | 专利名称： | 一种卧式热丝CVD设备 |
| 申请日： | 2022-08-26 | 申请/专利权人 | 苏州帕萨电子装备有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市太仓市城厢镇锦州路18号2幢 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C16/44 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-11-18 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115354301A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 38 | 所属领域： | 其他专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及一种卧式热丝CVD设备，它包括：反应腔室、间隔设置在所述反应腔室内的载板、矩阵排列在所述载板上的硅片、固定在所述反应腔室内侧壁上的热丝架、固定在所述热丝架上的保护套、可调节地设置在所述保护套内的电极夹头、固定在所述电极夹头之间的热丝以及设置在所述反应腔室内的匀气管道，所述热丝与载板交替设置。本发明卧式热丝CVD设备结构简单，在反应腔室内设置水平的载板，硅片放置在载板的硅片槽内，方便硅片的上下料，通过热丝夹将热丝水平分段张紧在反应腔室内，可以避免热丝由于自重而出现下垂，然后通过热丝对工艺气体分子进行催化分解反应，将反应产生的活性基团镀在硅片的两侧，方便操作，通用性高。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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