实用新型已授权

一种密齿立式石英舟

📄 申请号：CN202322394436.0 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2023-09-05

公开号

CN221028666U

公开日

2024-05-28

申请人

连云港亮迪石英科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_458

IPC 分类号

C23C16_458 , H01L21_673 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备石英制品晶圆承载装置

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制造, 光伏电池制造, 扩散炉工艺, 氧化炉工艺

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摘要

本实用新型涉及材料制造技术领域，且公开了一种密齿立式石英舟，包括主体，所述主体的内部开设有第一预留槽，所述第一预留槽的内壁开设有多组限位槽，所述主体的内部均设置有隔离机构。该种密齿立式石英舟，对主体内部空间进行分区时，首先，将隔板放置于第一预留槽的内壁，使得隔板一侧固定连接的卡块滑动到限位槽的内壁，通过限位板上端开设的斜面使得限位板沿着限位槽的内壁进行水平移动，使得弹簧压缩，该结构的设置，有效避免了石英舟无法同时对两种溶剂进行盛放的问题，可以达到对石英舟内部进行分区的效果，同时，减少了加工所需的时间，提高了溶剂处理效率，也可以在实际使用的过程中提高石英舟的通用性，也利于石英舟的广泛推广。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种方便组装的包装泡棉

当前第 / 件

一种具有废料回收结构的纸盒裁切装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_458)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

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