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摘 要:本发明属于轻质合金技术领域,具体涉及一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法,包括:(1)基体准备:将清洗后的镁合金基体放入射频磁控溅射设备送样室进行抽真空;(2)预溅镀:分别对溅射腔中的镁靶材和铝靶材进行预溅镀;(3)送样:将镁合金基体送到溅射腔中样品台;(4)洗腔:开启溅射腔进气阀,调节高纯氩气流量和清洗时间;(5)加热基体:将所述镁合金基体进行加热,然后调整样品旋转台持续旋转;(6)溅镀:分别对镁靶材和铝靶材进行射频磁控溅射;(7)冷轧:对溅镀铝的单面进行冷轧处理,获得镁铝复合板。本发明方法制备的镁铝复合板综合性能比较优异,镁和铝之间的层界面实现完全的冶金结合,具有较高的结合强度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011382235.3 | 专利名称: | 一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法 |
申请日: | 2020-11-30 | 申请/专利权人 | 江苏理工学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省常州市中吴大道1801号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 磁控搜索 |
公开/公告日: | 2021-04-16 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112663008A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |