发明专利已授权

一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法

📄 申请号：CN202011382235.3 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2020-11-30

公开号

CN112663008A

公开日

2021-04-16

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_50 , C23C14_02 , C23C14_16 , C23C14_54 , B21B1_38 ,

技术画像

所属领域

金属复合材料金属复合材料磁控溅射复合板制备

应用场景

航空航天, 汽车轻量化, 电子设备, 轨道交通, 船舶制造

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摘要

本发明属于轻质合金技术领域，具体涉及一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法，包括：(1)基体准备：将清洗后的镁合金基体放入射频磁控溅射设备送样室进行抽真空；(2)预溅镀：分别对溅射腔中的镁靶材和铝靶材进行预溅镀；(3)送样：将镁合金基体送到溅射腔中样品台；(4)洗腔：开启溅射腔进气阀，调节高纯氩气流量和清洗时间；(5)加热基体：将所述镁合金基体进行加热，然后调整样品旋转台持续旋转；(6)溅镀：分别对镁靶材和铝靶材进行射频磁控溅射；(7)冷轧：对溅镀铝的单面进行冷轧处理，获得镁铝复合板。本发明方法制备的镁铝复合板综合性能比较优异，镁和铝之间的层界面实现完全的冶金结合，具有较高的结合强度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221223

✅ 授权

20210504

?? 实质审查的生效：

20210416

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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