发明专利已授权

一种用于相变存储器的Sb-Se-Ti系列纳米复合相变薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201711298149.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-12-08

公开号

CN109904311A

公开日

2019-06-18

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L45_00

IPC 分类号

H01L45_00 , C23C14_16 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

相变存储技术相变存储技术纳米复合薄膜材料半导体存储器件

应用场景

相变存储器件, 非易失性数据存储, 数据中心存储, 嵌入式存储, 半导体芯片

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摘要

一种用于相变存储器的Sb-Se-Ti系列纳米复合相变薄膜，其化学组成符合化学通式(SbxSe1-x)1-yTiy，其中，0.25

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221223

✅ 授权

20190712

?? 实质审查的生效：

20190618

📄 公开

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