一种晶圆清洗抛光装置

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摘     要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆清洗抛光装置，包括两个底座，两个所述底座上均滑动连接有支架，两个所述支架的侧面均转动安装有转轴，两个所述转轴之间固定连接有冲洗面板，所述冲洗面板的底部设置有多个喷头，且冲洗面板的顶部设置有烘干机构，其中一个所述支架上设置有用于带动冲洗面板反正的翻转机构，所述翻转机构包括电机二，所述电机二固定安装于其中一个支架的一侧；本实用新型通过设置冲洗面板和烘干机构，不仅可以对晶圆进行清洗，还可以在清洗完成后，通过翻转机构调整冲洗面板和烘干机构的位置，实用烘干机构对晶圆进行烘干，加快晶圆的干燥速度，使设备功能性多样化，提高工作效率。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2025/04/29	授权