一种硅片支撑装置及化学槽

摘     要：本实用新型公开了一种硅片支撑装置及化学槽，涉及硅片制造技术领域。硅片支撑装置包括相对设置的两个支撑导轨和设置在两个支撑导轨之间的升降导轨，两个支撑导轨的支撑面相对设置，支撑面上设有支撑槽，支撑槽的槽底呈弧形，支撑槽的槽底包裹硅片的边缘以对硅片进行支撑，升降导轨驱动硅片升降或在硅片承载于支撑槽内的状态下与硅片分离。上述硅片支撑装置的支撑导轨与硅片的接触较为紧密，有效减少了硅片在加工过程中的摆动，进而减少了硅片的损伤，也减少了硅片损伤对支撑导轨的损坏，另外，上述硅片支撑装置的升降导轨能够与硅片分离，减少了因硅片损伤造成的升降导轨的损坏。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注