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| 专利/申请号： | CN202022501325.1 | 专利名称： | 化学液浓度控制系统和清洗装置 |
| 申请日： | 2020-11-02 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/67分类检索 化学化工专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2021-09-14 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN214203615U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本实用新型实施例公开了一种化学液浓度控制系统和清洗装置，该化学液浓度控制系统包括储液模块，储液模块用于储存化学液，化学液中溶有至少一种化学品；至少一条化学品输送管路，用于向储液模块输送化学品，化学品输送管路上设置有流量计；浓度测量模块，用于测量化学液的浓度；流量控制模块，流量控制模块分别与流量计、浓度测量模块连接，用于根据流量计测得的当前流量数据、浓度测量模块测得的当前浓度数据和目标浓度控制化学品输送管路的流量。本实用新型实施例通过流量控制模块根据当前流量数据、当前浓度数据和目标浓度控制化学品输送管路的流量以使清洗晶片的化学液始终维持在目标浓度，进而保证对晶片完全且适度清洗。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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