一种半导体压腔控制装置和快速热处理装置

摘     要：本实用新型提供一种半导体压腔控制装置和快速热处理装置，涉及半导体技术领域，包括增压装置、管路、粗调阀和精调阀；在管路的两端分别设置有相互连通的第一接口和第二接口，第一接口与增压装置连接，第二接口用于连接反应箱的半导体腔室；粗调阀和精调阀分别设置于管路上，用于分别调节半导体腔室的压力。在实现反应箱内的半导体腔室的压力控制时，可以通过粗调阀的粗略调节加之精调阀的精确调节，实现对压力的精确控制，同时，还可以进一步的提高半导体腔室的压力控制的稳定性，避免因单一阀故障导致半导体腔室的压力控制失效，进而使得半导体器件在反应箱进行加工时，能够获得更加稳定的压力环境以及双重稳压的安全保证。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注