咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:一种静电吸盘移除工具,涉及半导体设备技术领域,该静电吸盘移除工具包括固定安装架、设置在所述固定安装架上的提升杆以及与所述提升杆连接的吸盘固定架,所述提升杆的延伸方向与所述吸盘固定架的重心相重合,所述固定安装架上开设有导向孔,所述提升杆装配在所述导向孔中,所述吸盘固定架用于对称连接在静电吸盘上。螺杆的延伸方向与吸盘固定架的重心相重合,使得螺杆施加在吸盘固定架上的力均匀分布,进而使得吸盘固定架施加在静电吸盘上的力均匀分布,从而保证了在移除过程中静电吸盘受力均匀,避免吸盘底部的零部件在移除过程中受到损坏,保证静电吸盘的安全可靠。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202021526396.0 | 专利名称: | 静电吸盘移除工具 |
申请日: | 2020-07-28 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B66C1/02搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-19 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN212740376U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |