一种半导体处理腔室

摘     要：本实用新型属于半导体处理系统领域，具体涉及一种半导体处理腔室，包括处理腔室主体、水箱，所述处理腔室主体上设置有喷头，所述喷头上固定连接有固定块，所述处理腔室主体上固定安装有水泵，所述水泵上固定连接有进水管，所述进水管上固定连接有连接块，所述连接块与固定块接触，所述固定块上设置有限位机构，所述水泵上固定连接有连接管。本实用新型通过设置有滤网，可将注入水箱内的水源进行过滤，且通过设置有电机、转轴、刮板等部件，可使电机带动刮板对滤网进行刮蹭，可有效的防止滤网堵塞，使滤网可长时间对水源进行过滤，解决了现有的半导体处理腔室在使用时，喷头使用的水源未经过滤，可能会导致喷头堵塞的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注