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摘 要:本发明提供一种晶圆取片器,涉及晶圆取片领域,包括:底座;所述底座顶侧滑动设置有滑动座;所述滑动座顶部固定设置有方形筒,且方形筒内部滑动设置有方形柱,并且方形柱顶部固定设置有横板;所述横板顶部固定设置有衔接机构,且滑动座顶部固定设置有连接装置;所述衔接机构外侧固定设置有控制装置,且衔接机构外侧还固定设置有晶圆取片装置,通过设置有衔接机构和晶圆取片装置,从而能够简便的实现一次性拿取三片晶圆的效果,减少了晶圆取片器的往返运动次数;从而提高了取片效率,解决了只能一次取一片晶圆,从而在对晶圆加工过程中需要晶圆取片器往复多次对晶圆进行拿取的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202410431624.2 | 专利名称: | 一种晶圆取片器 |
申请日: | 2024-04-11 | 申请/专利权人 | 蓝柏电子(南通)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南通市海安市胡集街道东海大道西388号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-07-09 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN118315316A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/10/11 | 授权 | |
2024/07/26 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/677 专利申请号: 202410431624.2 申请日: 2024.04.11 |
2024/07/09 | 公开 |