一种蚀刻喷淋装置

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摘     要：本实用新型公开了一种蚀刻喷淋装置，属于半导体蚀刻设备技术领域，本实用新型包括：转动托盘，所述转动托盘上方贴附有晶圆板，所述转动托盘上方绕晶圆板侧面贴合有阶梯垫块，所述阶梯垫块上端设置有与晶圆板上端面重合的阶梯形软垫，电机，所述电机输出端与转动托盘固定，所述电机输出端外缘处安装有转盘，喷淋头，所述喷淋头通过支杆固定有废水箱，所述电机与废水箱固定安装。本实用新型中，采用了旋转贴合防积液结构，以实现对于晶圆板上端面水面张力结构的破坏，从而减少晶圆板上端废液的积存，增加蚀刻液的作用效果。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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