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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种硅片清洗前的湿度保持机构，包括水槽以及位于水槽旁的安装座，安装座上设有转动座以及驱动转动座90度转动的动力装置，转动座的上沿高于水槽上沿且转动90度后转动座上沿位于水槽区域内，转动座上沿上设有花篮定位板，花蓝定位板上靠近水槽侧设有推抵硅片花篮侧面的托料架，转动座90度转动后托料架托承硅片花篮整体没入水槽中，花蓝定位板上在托料架对面设有限制硅片花篮位置的两个端部定位块，花蓝定位板上在端部定位块和托料架之间设有定位硅片花篮另一侧面的侧边定位块，转动座上设有检测块，安装座上在转动座起始位置处设有与检测块相配合的第一检测开关，安装座上在转动座终止位置处设有与检测块相配合的第二检测开关。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201810143596.9 | 专利名称： | 一种硅片清洗前的湿度保持机构 |
| 申请日： | 2018-02-12 | 申请/专利权人 | 苏州卓樱自动化设备有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市张家港市凤凰镇韩国工业园飞翔路3号卓樱自动化设备 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/67搜分类 半导体 晶圆搜索 |
| 公开/公告日： | 2018-07-24 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN108321100A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/04/19 | 授权 | |
| 2018/08/17 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201810143596.9 申请日: 2018.02.12 |
| 2018/07/24 | 公开 |
