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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202210900254.3 | 专利名称： | 一种蓝色铜合金薄膜的制备方法 |
| 申请日： | 2022-07-28 | 申请/专利权人 | 河南科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 河南省洛阳市涧西区西苑路48号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/35 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-10-27 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115386847B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 纳米材料专利转让搜索 |
应用场景：微电子器件装饰;光学滤波元件;半导体封装视觉标记;耐腐蚀且导电的功能性涂层
摘 要：一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其先取Cu‑Mo‑Zr复合靶置于真空室内抽真空，在真空度达到1*10‑3～9*10‑3Pa后，再向真空室内通入高纯氩气至真空室气压达到0.3～1.0MPa后，采用直流磁控溅射镀膜机使Cu‑Mo‑Zr复合靶溅射沉积于基体上，即得所述蓝色铜合金薄膜。本发明的通过元素Zr和Mo的加入，控制特定的真空度，使真空室内残余的氧原子进入到薄膜表面微结构的空隙、空位处，制备出蓝色合金薄膜，操作方便，成本低，绿色环保。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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