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摘 要:本实用新型涉及晶圆片技术领域,尤其是一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置,包括下板,所述下板正上方设置有上板,所述下板和上板之间设置有存放槽,所述存放槽一侧固定有连接板,所述下板上方安装有电机,所述电机上方连接有螺纹杆,所述螺纹杆一端穿过连接板并转动连接在上板下方,所述螺纹杆与连接板之间通过螺纹连接,所述存放槽两侧均固定有侧板,所述下板上方两侧均固定有滑杆。该晶圆片传递装置通过存放槽来对晶圆片进行存放,当需要将晶圆片取下时,只需要拉动拉板,最左侧的晶圆片便会从开口处滑落。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022303322.7 | 专利名称: | 一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置 |
申请日: | 2020-10-16 | 申请/专利权人 | 苏州百克晶电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-06-15 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN213459674U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |