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摘 要:本发明公开了一种防止手臂撞击晶圆的装置,包括:手臂基座;侦测器位置调整单元,所述侦测器位置调整单元刚性设置在所述手臂基座上;侦测器宽度调整单元,所述侦测器宽度调整单元与所述侦测器位置调整单元的可动结构刚性相连;以及晶圆侦测器,所述晶圆侦测器可调节的设置在所述侦测器宽度调整单元上。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910751520.9 | 专利名称: | 一种防止手臂撞击晶圆的装置 |
申请日: | 2019-08-15 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2019-11-12 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110444493A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |