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| 专利/申请号： | CN202011534781.4 | 专利名称： | 一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法 |
| 申请日： | 2020-12-22 | 申请/专利权人 | 安徽工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 安徽省马鞍山市湖东路59号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/06 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-12-16 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112708852B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 18 | 所属领域： | 材料科学与工程专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法，包括步骤：清洗基材；制备AlCrN功能涂层；将所述AlCrN功能涂层沉积在处理后的所述基材上；原位高能Ar+轰击后处理；对制备好的AlCrN功能涂层进行原位高能Ar+轰击后处理：沉积镀膜结束后，对所述基材进行抽真空，加工温度保持在400℃并通入Ar气；开启清洗Ti靶后开启阳极靶材，所述阳极靶材与所述清洗Ti靶构成正负极牵引电子运动，电子与Ar气碰撞产生Ar+，控制负偏压为‑200V，吸引Ar+对设置有所述AlCrN功能涂层的所述基材表面进行离子轰击，轰击时间为40min；本发明可有效去除AlCrN涂层表面的大小液滴颗粒，同时增加涂层和基体的残余压应力，改善了AlCrN涂层的表面粗糙度和切削性能。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/12/16 | 授权 | |
| 2021/05/14 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/06 专利申请号: 202011534781.4 申请日: 2020.12.22 |
| 2021/04/27 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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