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一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法

Name: 一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2020115347814
Availability: InStock

📄 申请号：CN202011534781.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-12-22

公开号

CN112708852B

公开日

2022-12-16

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_32 , C23C14_58 ,

技术画像

所属领域

表面处理表面处理刀具涂层离子刻蚀

应用场景

金属切削加工, 刀具制造, 工业装备, 精密加工

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摘要

本发明公开一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法，包括步骤：清洗基材；制备AlCrN功能涂层；将所述AlCrN功能涂层沉积在处理后的所述基材上；原位高能Ar+轰击后处理；对制备好的AlCrN功能涂层进行原位高能Ar+轰击后处理：沉积镀膜结束后，对所述基材进行抽真空，加工温度保持在400℃并通入Ar气；开启清洗Ti靶后开启阳极靶材，所述阳极靶材与所述清洗Ti靶构成正负极牵引电子运动，电子与Ar气碰撞产生Ar+，控制负偏压为‑200V，吸引Ar+对设置有所述AlCrN功能涂层的所述基材表面进行离子轰击，轰击时间为40min；本发明可有效去除AlCrN涂层表面的大小液滴颗粒，同时增加涂层和基体的残余压应力，改善了AlCrN涂层的表面粗糙度和切削性能。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221216

✅ 授权

20210514

?? 实质审查的生效：

20210427

📄 公开

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