发明专利 已授权

一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置

📄 申请号:CN202110746018.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2021-07-01
公开号
CN113463056B
公开日
2022-06-17
申请人
安徽工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空镀膜, 材料表面处理, 薄膜制备, 光学镀膜, 电子器件制造

摘要

本发明公开了一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,属于真空镀膜技术领域,包括上下对称的上部与下部,所述上部与下部均包括样品置物台、样品固定底座、伸缩杆组件、伸缩杆限位筒、伸缩杆驱动组件、旋转座、底座驱动组件、支撑限位组件,所述样品置物台设置在所述样品固定底座上,由所述样品固定底座对其卡紧或放松,所述样品固定底座与所述伸缩杆组件的一端连接,另一端设置在所述伸缩杆限位筒内部,所述伸缩杆限位筒与所述旋转座连接,所述伸缩杆驱动组件驱动所述伸缩杆组件实现伸缩。本发明在样品翻转过程中,并未采用任何夹具的形式,而是通过装置上下两部分互相压紧,然后再完成样品的翻转,不会对样品表面造成任何遮挡。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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