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摘 要:本发明公开了一种PN结硅微球的制备方法,该方法选用一定尺寸的N型硅微球为原料,先用氢氟酸浸泡后,除去表面的氧化层,然后再用去离子水和无水乙醇清洗后进行真空干燥。选取包含硼元素的溶液作为扩散源,按照一定的体积比浸润干燥后的硅微球,然后真空干燥。取出干燥后的硅微球,在保护气氛中在一定温度下进行热扩散,扩散结束后采用一定浓度的氢氟酸清洗,然后再用去离子水和无水乙醇清洗,最后经真空干燥,获得PN结硅微球。与现有技术相比,本发明方法工艺设计合理,可操作性强,生产成本低廉,生产效率高,所得PN结硅微球的尺寸均匀,扩散浓度和深度可控的,可大规模工业化生产用于太阳能电池、光电子器件、半导体和传感器等领域可。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010751539.6 | 专利名称: | 一种PN结硅微球的制备方法 |
申请日: | 2020-07-30 | 申请/专利权人 | 盐城工学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省盐城市希望大道中路1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/228搜分类 硅 球 P 微 微生物采样搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |