一种晶圆加工腔室

摘     要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆加工腔室，包括主筒，所述主筒的上端固定连接有顶板，顶板的底面转动连接有转动杆，转动杆贯穿顶板，转动杆的外表面固定安装有多个呈圆周布置的叶片，顶板的底面安装有多个呈圆周布置的卤素灯，主筒的内壁安装有玻璃板，玻璃板的上表面安装有多个温度感应器，主筒的底端固定连接有底板，底板的底面转动连接有转动轴，转动轴贯穿底板。该晶圆加工腔室，通过第一电机带动转动杆的转动带动叶片的转动进而使得空气流动将玻璃板上的高温由空气从出气口带离主筒，达到了恒温的效果，解决了由于长时间照射导致玻璃板成为第二热源使得晶圆的加热处理出现差异的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/09/05	授权