一种集成光电子器件制造用蚀刻装置

摘     要：本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体，所述主体的内部设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有驱动轴，所述驱动轴上设置有蚀刻装置，所述主体的内壁上设置有固定部件，所述固定部件上设置有偏移感应组件、联动组件和校正组件；所述偏移感应组件包括感应气垫、活动件、感应主杆和导向件。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置校正组件，一旦蚀刻装置出现抖动时，蚀刻装置必然带动驱动轴同步抖动，利用校正主杆带动校正件与驱动轴相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴进行校正，从而从根本上解决蚀刻装置抖动的问题，进而提升了蚀刻装置对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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