实用新型 已授权

一种高密封性能真空镀膜机

📄 申请号:CN202222296078.5 📄 发布日:2026/02/28

著录项目信息

申请日
2022-08-30
申请人
黄忠燕
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

表面处理, 光学镀膜, 装饰镀膜, 半导体制造, 工具涂层

摘要

本实用新型公开了一种高密封性能真空镀膜机,涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括底座和真空罩,真空罩内部包括内仓,内仓内部固定安装有电机,电机一端连接有电机轴,电机轴一端固定连接有第二夹持板,第二夹持板下表面固定连接有若干伸缩筒,伸缩筒内部开设有伸缩腔。本实用新型通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴,在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间,由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定,并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机,电机带动工件匀速转动,能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触,提高了镀膜的密封性。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号:

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:85 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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