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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201810092075.5 | 专利名称: | 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法 |
申请日: | 2018-01-30 | 申请/专利权人 | 陕西科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区大学园1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | C23C14/08 分类检索 |
公开/公告日: | 2019-11-08 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN108315691B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 8 | 所属领域: | 塑料专利转让搜索 |
摘 要:一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法,将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台,TiO2靶材放入射频靶位,向镀膜室通入Ar气,设置TiO2射频靶位的电源功率为100W~400W,溅射时间为5min~60min,溅射同时对样品台加热,加热温度为500℃~700℃,溅射完成后,得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏,并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控,光激发下湿敏性突出。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/08/01 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2023.07.19 专利权人由陕西科技大学变更为陕西深蓝机电工程有限公司 地址由710021 陕西省西安市未央区大学园1号变更为712099 陕西省咸阳市渭城区文林路文林佳苑3号商住楼2单元4层3号 |
2019/11/08 | 授权 | |
2018/08/17 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/08 专利申请号: 201810092075.5 申请日: 2018.01.30 |
2018/07/24 | 公开 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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